微细加工技术 微细加工是制造微米至毫米级微小零件和微结构的加工技术，包括微细切削、微电火花加工和微电化学加工等。
为什么微细加工需要超高的机床主轴转速？
提示： 从刀具直径极小导致切削线速度不足的角度分析。
刀具直径小即使转速看似很高线速度仍很低，需超高转速保证正常切削。
误区： 微细加工只能加工微尺度的零件。
事实： 也用于宏观零件上的微特征结构。
问： 微细加工和MEMS有何区别？
答： MEMS基于光刻等半导体工艺，微细加工是基于机械切削或放电方式。- ❌ 误区：微细加工只能加工微尺度的零件。 ✅ 事实：也用于宏观零件上的微特征结构。
前置依赖： 超精密切削、精密加工精度与表面质量概念
后续延伸： 在线测量与误差补偿、超精密加工机床关键技术
刀具直径比头发丝还细主轴转速极高。
微细电火花:微细电极放电蚀除材料无宏观切削力。
微细电解:阳极溶解精密加工无应力无热影响。