扫描电子显微镜 扫描电子显微镜是用聚焦电子束在样品表面逐点扫描激发二次电子和背散射电子成像,获得高分辨率表面形貌和成分分析。
为什么SEM需要真空环境?
提示: 从电子束与气体分子碰撞散射对成像的影响来理解。
空气中气体分子严重散射电子束,无法形成聚焦良好的扫描探针。
误区: SEM只能观察表面无法测成分。
事实: EDS同时提供微区半定量成分。
问: SEM和光学显微镜哪个景深大?
答: SEM景深比光学大几十至几百倍。- ❌ 误区:SEM只能观察表面无法测成分。 ✅ 事实:EDS同时提供微区半定量成分。
前置依赖: 光学显微分析、晶体结构
后续延伸: 透射电子显微镜、X射线衍射
《扫描电子显微镜及其应用》(郭可信)、《Scanning Electron Microscopy》(Reimer)。
高分辨显示形貌和断口特征。
成分衬度区分不同相。
分析微区元素组成。